둘 다진공 펌프 및 압축기가스 가스 처리 장치이지만 작업 원칙과 응용 범위는 다릅니다.
진공 펌프의 주요 기능은 반응 챔버에서 가스를 제거하여 컨테이너의 압력을 줄여 미리 정해진 진공 정도를 달성하는 것입니다. 가스는 흡입 및 배기 메커니즘을 통해 공간에서 추출되어 진공 상태를 형성합니다. 진공 펌프는 일반적으로 실험실, 생산 및 제조 분야에서 사용됩니다. 웨이퍼 팹, 에칭 장비, 증착 장비, EUV 리소그래피 장비, 이온 임플란트 장비, 탐지 및 특성화 장비 등에서는 모두 청소해야합니다.
압축기의 기능은 가스를 흡입하고 압축하고 가스의 압력을 높이고 가스를 더 작은 부피로 압축하며 가스의 밀도와 압력을 증가시키는 것입니다. 작동 원리는 배기 밸브를 통해 가스를 압축 한 다음 압축 가스를 가스 탱크 또는 기타 장비에 넣는 것입니다. 압축기는 일반적으로 가공 및 제조 분야에 사용됩니다. 우리가 자주 이야기하는 CDA 가스는 압축기가 제공합니다. CDA는 다양한 자동화 장비 및 밸브를 제어하는 데 사용됩니다. 반도체 제조의 경우 CDA는 매우 순수하고 건조해야합니다. 압축기에 의한 공기 출력은 정교한 여과 시스템을 통과하여 오일, 수분 및 기타 입자를 제거하여 웨이퍼의 오염이 없도록해야합니다.
범주는 무엇입니까?진공 펌프 및 압축기?
반도체 장비에서는 드라이 펌프 및 분자 펌프가 일반적으로 사용됩니다. 드라이 펌프는 액체를 밀봉 또는 냉각 매체로 사용하지 않는 진공 펌프를 의미하며, 오일 증기 오염의 문제를 피합니다. 일반적으로 반도체 장비의 거친 진공 추출에 사용됩니다. 분자 펌프는 매우 높은 진공 수준을 달성 할 수 있습니다. 드라이 펌프 및 분자 펌프는 종종 다른 진공 수준의 요구를 충족시키기 위해 반도체 장비에 조합하여 사용됩니다.
압축기는 피스톤, 나사, 원심 분리, 로타리 베인 공기 압축기 등으로 나눌 수 있습니다.
진공 펌프 및 압축기의 다른 설계 및 작동 원리로 인해 진공 펌프는 일반적으로 압축기를 대체 할 수 없습니다. 진공 펌프는 가스의 압력과 밀도를 줄일 수 있지만 가스를 더 작은 부피와 더 높은 압력으로 압축 할 수는 없습니다. 또한 진공 펌프의 제한된 성능 및 작업 특성으로 인해 저밀도 가스 및 저압 환경을 처리하는 데 가장 적합합니다.
따라서 가스를 더 작은 부피와 고압으로 압축 해야하는 경우 압축기를 사용해야합니다. 반대로, 가스를 추출해야하고 진공 상태가 형성되면 진공 펌프를 사용해야합니다.
둘 다진공 펌프 및 압축기가스를 처리하는 데 사용되는 장치이며 설계 및 작업 원리에는 큰 차이가 있습니다. 진공 펌프는 가스의 압력과 밀도를 줄일 수 있지만, 특히 가스를 더 작은 부피와 더 높은 압력으로 압축해야 할 때 압축기를 대체 할 수는 없습니다.
